晶圆测试的设备有哪些？

1、高频率测试探针台：对微波加热器件开展S主要参数测试、波量测试、比率测试，包含力度、位置、廷时等测试。液压卡盘选用单独吸咐孔和多圈吸咐环固定不动试品，均单独操纵，单独吸咐孔直经能够挑选500 μm下列，处较大规格外可以适配应用。
 

2、极高标准气压自然环境探针台：4inch之内晶圆真空泵和髙压自然环境下，原材料，器件i-v ，c-v曲线图，电阻，霍尔测试。关键配备是高低温试验髙压探针台+电极座+抗震屏蔽掉系统软件 + 半导体材料主要参数测试系统软件。
 

晶圆检测设备，关键是借助机器视觉检测来进行检测规定。
 

工作中全过程：根据振动盘全自动送料，依据设置的速率送至夹层玻璃上面，再根据监控摄像头的拍攝，传输到手机软件，根据特性的优化算法剖析商品的外型，并全自动快递分拣优品及残品。
 

特性：全自动左右料，检测速率达到400-1200颗/分鐘，精密度达到1μ，成功率99.99%。
 

历经上边的几个加工工艺以后，晶圆上就产生了一个个格子状的晶粒。根据针测的方法对每一晶粒开展电气设备特点检测。一般每一集成ic的有着的晶粒总数是巨大的，机构一次针测试方式是比较复杂的全过程，这规定了在生产制造的那时候尽可能是同样集成ic规格型号结构的型号规格的大批的生产制造。总数越大相对性成本费就会越低，这都是为何流行集成ic器件工程造价低的一个要素。